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电池车间制绒、扩散工序产生的氟化氢、氯化氢和氯气经过密闭设备顶部风管收集,经过1套二级NaOH溶液筛板填料洗涤塔处理后通过1根25m高排气筒(DA003)排放;正面刻蚀、碱抛工序产生的氟化氢经过密闭设备顶部风管收集,经过1套二级NaOH溶液筛板填料洗涤塔处理后通过1根20m高排气筒(DA004)排放;背面刻蚀、碱洗工序产生的氟化氢经过密闭设备顶部风管收集,经过1套二级NaOH溶液筛板填料洗涤塔处理后通过1根20m高排气筒(DA005)排放;Poly-PE(沉积)工序产生的尾气(PH3、SiH4)和ALD(钝化)工序产生的尾气(TMA)经过密闭设备顶部风管收集,经1套尾气焚烧筒(电加热,300~400℃,产生颗粒物)+布袋除尘器处理,然后通过1根20m高排气筒(DA006)排放;PECVD(镀膜)工序产生的尾气(NH3、SiH4、N2O)集中收集后由经1套设备自带尾气燃烧器(电加热,300~400℃,产生颗粒物及少量氮氧化物)+布袋除尘器+酸喷淋塔(H2SO4)处理,然后通过1根20m高排气筒(DA007)排放;丝网印刷工序产生的有机废气集中收集后经过1套设备自带器燃烧(电加热,800~900℃)+活性炭吸附装置处理,然后通过1根20m高排气筒(DA008)排放。
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没有共产党,就没有俺的今天。
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