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吴长风 2024-10-31 03:26:10 教育 99 次浏览 6个评论

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其中制绒工段和返工片清洗酸雾（氯化氢和氟化物）采取“两级碱喷淋装置”处理后分别由20m高排气筒排放（DA001和DA011）；硼扩散产生废气（氯气）采取“两级碱喷淋装置”处理后分别由25m高排气筒排放（DA002和DA012）；化学品供应站产生呼吸废气（氯化氢和氟化物）、去BSG工段产生废气（氟化物）以及碱抛工段产生酸雾（氯化氢和氟化物）分别采取2套“碱喷淋装置”处理后分别由20m高排气筒排放（DA003和DA013）；LPCVD工段产生废气（颗粒物和硅烷）采取“硅烷燃烧桶+干式除尘器装置”处理后分别由20m高排气筒排放（DA004和DA014）；退火磷扩产生废气（氯气和颗粒物）、去PSG工段产生酸雾（氟化物）、RCA工段产生酸雾（氯化氢和氟化物）、石墨舟和石英舟清洗工段产生酸雾（氯化氢和氟化物）分别采取2套“碱喷淋装置”处理后分别由25m高排气筒排放（DA005和DA015）；ALD镀膜工段产生废气（颗粒物）、PECVD镀膜工段产生废气（颗粒物、氨气和笑气）以及硅烷站换气废气（颗粒物）采取“硅烷燃烧桶+干式除尘器装置+氨气洗涤塔”处理后分别由20m高排气筒排放（DA006和DA016）；丝网印刷废气、烘干废气以及烧结废气（非甲烷总烃）分别经设备自带冷凝和燃烧系统（燃烧塔）预处理后采取“两套两级活性炭吸附”处理后分别由20m高排气筒排放（DA007和DA017）；氨气笑气站换气废气（氨气）经1套“氨气洗涤塔”处理后由1根15m高排气筒排放（DA008）；危废暂存间废气（非甲烷总烃）经1套“两级活性炭吸附装置”处理后由1根15m高排气筒排放（DA009）；污水处理站废气（氯化氢、氟化物、氨和硫化氢）经1套“两级碱喷淋”处理后由1根15m高排气筒排放（DA010）。